电子科学与技术学科以集成电路设计和半导体制造技术为核心，包括各种微电子器件、光电器件和敏感芯片的设计与制造技术等相关内容。电子科学与技术是信息技术的基础，是信息社会的基石。

沈阳工业大学电子科学与技术专业始于1958年成立的半导体物理与器件专业，1998年调整为电子科学与技术专业，2017年获得一级学科硕士学位授予权，2021年获批辽宁省一流本科教育示范专业。本学科点建设有辽宁省集成电路及电子系统设计联合实验室、半导体工艺生产线。本学科点现聘有全职硕士研究生导师15名，其中教授3名、副教授9名、博士研究生导师5名，7人具有海外求学或交流经历，4人具有博士后流动站工作经历。入选辽宁省“百千万人才工程”教师2名。获辽宁省优秀硕士学位论文指导教师荣誉称号教师1名。

本学科点面向国家建设需求及学科国际前沿，自主研发了不受工艺偏差影响的精密恒流源中的温度补偿电路、数字信号控制的连续时间函数信号生成电路、双向开关隧穿场效应晶体管、导通类型可调制高性能晶体管、基于高肖特基势垒的隧穿晶体管、用于二进制神经网络的高性能神经元突触、压阻式高固有频率微机电加速度敏感芯片、基于键合技术的SOI加速度敏感芯片等技术等。同时，在适用于亚10nm集成电路的多栅场效应晶体管理论研究方面，亦有突破。为本学科点的前沿发展提供了重要的理论研究成果和关键技术。近几年来，围绕集成电路芯片设计与制造、微机电系统及制备工艺、神经形态与智能系统芯片研发、低维半导体材料及光电器件与功率半导体、薄膜晶体管与显示技术等研究。本学科点在发展传统电子科学与技术学科优势的基础上，积极探索学科交叉领域，发展人工智能硬件技术，促进人工智能等新兴产业发展，形成了稳定且具有特色的学科方向。本学科点面向国家建设和学科发展，深入拓展学科方向和研究领域，推进前沿科研成果和高质量研究生培养基地建设，培养高级创新型科技人才。

二、培养目标

面向国家建设和经济社会发展需求，针对电子科学与技术学科及其工程领域的企业、高等院校、科研院所的科研、教学或技术创新与管理人才需求，培养德、智、体、美、劳全面发展的高层次专门人才。本学科点培养的学术学位硕士研究生应达到以下要求：

（一）具有坚定正确的政治方向，树立正确的世界观、人生观和价值观；热爱祖国，遵纪守法，学风严谨，具有良好的职业道德和为祖国现代化建设艰苦奋斗的献身精神，具有健康的体魄和较强的心理素质。

（二）掌握电子科学与技术学科坚实的基础理论和系统的专门知识，了解学科的发展现状、趋势及发展方向。

（三）具有在本学科及相关学科领域从事科学研究或独立担负专门技术工作的能力，能够胜任电子科学与技术领域的基础研究、应用研究、关键技术创新及系统设计、开发与管理

等工作。

（四）较熟练地掌握一门外语，能阅读本学科领域的外文资料，并具有一定的外语口语和写作能力。

三、培养方向

（一）集成电路芯片设计与制造

主要研究包括：大规模数字电路、模拟和混合电路设计、射频电路以及片上系统的研发和先进的半导体器件及集成电路制造工艺研究。针对不断出现的瓶颈问题，开展理论与设计方法研究、仿真与实验研究、关键科学问题与技术难点攻关，以满足国家对集成电路自主可控的要求。

（二）微机电系统及制备工艺

主要研究包括：新型压力敏感结构和加速度敏感结构的研究，医学和生化领域的微机电系统芯片研究，微动力学、微流体力学、微热力学等新兴基础理论研究等。针对社会需求，对相关问题进行从基础理论、设计方法和制备工艺等进行全方位研究，力争摆脱国外技术封锁，充分发挥微机电系统在国防、航天、医疗等领域的作用。

（三）新型半导体材料、器件与智能电子系统

主要研究包括：纳米尺度的新结构集成电路基础器件、低维半导体材料与器件、大功率半导体器件、光电器件、神经形态和类脑芯片、仿生传感芯片等新型微电子器件电路及系统的研究。

四、培养方式

（一）采用理论学习和科学研究相结合的方法，在拓宽基础、加深专业、掌握学科前沿的前提下，培养学术学位硕士研究生严谨的科学作风和开展创造性科学研究工作的能力。注重拓宽知识面与加深知识层之间的平衡性，促进硕士研究生高效、快速地积累研究基础。

（二）在指导上采取以指导教师负责和课题组集体培养相结合的方法，导师是研究生培养的第一责任人。导师应根据本方案的要求并结合研究生的特点，认真制定培养计划，检查并督促研究生的课程学习，统筹安排研究生科研与实践活动，鼓励研究生积极参加国内外学术交流，培养研究生的创新意识和创新能力，激发研究生创新潜力。

（三）导师应以高度的责任心，全面关心研究生的成长，要教育研究生坚持正确的政治方向和理想信念，引导研究生自觉遵守科研诚信与学术道德，学术道德是治学的起码要求，是学者的学术良心，通过加强导师自身学术道德建设，定期开展座谈会，言传身教，提升硕士生学术道德自律性，树立严谨学风。帮助研究生做好职业生涯规划，制定与完善硕士生个人培养计划并积极提供就业帮助，切实履行研究生日常管理责任。

（四）重视学术讨论与交流。学科导师通过定期开展团队内部的学术讨论会，扩展学生学术思路；通过举办学科、学院内部的学术研讨会或学术报告会、参加国内外学术会议和参观学习活动扩大学生学术视野。通过聘请研究生联合办学基地的企业专家参加硕士生指导工作，加深学生对业界前沿的了解程度，营造浓厚学术氛围。

实验室设施及部分荣誉展示

辛晓宁教授带领的校集成电路教学团队，近年来在集成电路双创教学上成绩突出，获企业大奖1项，国家级集创大赛优秀指导教师一、二等奖多项、省级集创大赛优秀指导教师一、二等奖多项。国家级优秀组织奖多项。近三年，集成电路竞赛获省级以上奖励 200余项，国家奖70余项。成绩稳居“三省一区”第一、全国前十，与清华的博士团队、西电的院士团队一起获得全国最高奖。多主体协同合作流片11次，参与中国科学院大学“一生一芯”计划，毕业生在北京、上海、广州、深圳等一线城市就业供不应求。

微电子工艺生产线